红太阳光电发布5款全新设备，引领光伏电池技术新突破！
收藏
关键词：
突破新突破发布
资讯来源：长沙高新区 + 订阅账号
发布时间：
2022-01-13
昨天（1月12日）国家光伏装备工程技术研究中心会议暨湖南红太阳光电科技有限公司新品发布会在长沙举办。本次会议旨在为光伏装备及工艺专家、学者搭建交流合作平台，进一步把脉行业动向，共同探讨下一代光伏装备的高质量发展，促进光伏产业升级与创新。
▲ 1月12日，国家光伏装备工程技术研究中心会议暨湖南红太阳光电科技有限公司新品发布会在长沙举办。
会上，湖南红太阳光电科技有限公司重磅发布了5款TOPCon与HJT全新装备产品。
此次发布的新产品均具有更高效、更节能、更环保的优势。
比如M5211-6/UM型立式硼扩散设备是红太阳光电创新研制的新一代TOPCon技术硼掺杂解决方案，与行业现有设备相比，同产能的情况下，能耗减少20%以上；小管径反应室，工艺温场、气场更加均匀，工艺时间相对卧式硼扩散节省15%以上。
M5211-2/UM型硼扩散设备相对于上一代产品产能提升30%以上；采用整体模组高速平稳驱动，运用精密反应室稳压技术、高精度串级温度控制，全石英洁净腔体高温密封技术，叠加成熟工艺窗口，多重安全保护防护系统，具备工艺效果优，设备运行稳定等特点。
M5311-1/UM型是红太阳光电第五代大产能LPCVD设备，适用于晶硅电池行业中的TOPCon电池遂穿氧化层和掺杂非晶硅薄膜的制备，相对传统LPCVD产能提升30%以上。
RCS-6000异质结PECVD设备采用射频等离子体增强化学气相沉积技术，在制绒清洗后的硅片表面，沉积5-10nm的非晶硅钝化层。
采取线性静态镀膜方式，基于模块化的设计，在自适应硅片温度快速调控、超大面积载板快速提升、射频馈入快速响应、大面积多层布气喷淋板及容性耦合射频等离子场均匀性控制等方面均有独特设计可满足不同客户对产能的需求，具有膜厚均匀性好、自动化程度高，工艺可拓展性强，支持微晶等技术特点。
低压硼扩散设备用于N型晶体硅PN结的制备，是TOPCon工艺关键工艺设备。
M5211-2/UM型硼扩散设备相对于上一代产品产能提升30%以上；
采用整体模组高速平稳驱动，运用精密反应室稳压技术、高精度串级温度控制，全石英洁净腔体高温密封技术，叠加成熟工艺窗口，多重安全保护防护系统，具备工艺效果优，设备运行稳定等特点。
M5311-1/UM型是红太阳光电第五代大产能LPCVD设备，适用于晶硅电池行业中的TOPCon电池遂穿氧化层和掺杂非晶硅薄膜的制备。
双层反应腔体设计，内腔拆装维护便利，炉口双层水冷密封结构，密封圈使用寿命长达1年；
在线式非晶硅清洗技术，可实现在线石英管及石英舟非晶硅清洗，石英舟寿命提升20%，反应腔体寿命提升40%，设备uptime高达98.5%。
PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备，是利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。
5管设备，设备投资成本低，可适应4.5米厂房高度，厂房投资成本低；
预留TOPCon正面PE&ALD、背面非晶硅沉积改造功能。
M5211-6/UM型立式硼扩散设备是红太阳光电创新研制的新一代TOPCon技术硼掺杂解决方案。
与行业现有设备相比，同产能的情况下，能耗减少20%以上；
小管径反应室，工艺温场、气场更加均匀，工艺时间相对卧式硼扩散节省15%以上；
炉口增加背水冷法兰和中间水冷法兰，降低炉口温度，密封圈寿命由1个月提升至6个月；
包裹式水冷尾气冷凝瓶，进一步增强冷凝瓶的冷凝效果，尾气温度降低至50℃以下，延长真空泵与过滤器的是由寿命及维护周期；
反应室整体拆装结构，石英管、密封圈、炉体等部件更换更加便捷高效。
END
来源：高新麓谷记者 吴梦珊 文/摄 综合红太阳光电
个人中心
我是园区
退出
